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我们自主研发的直驱数控平台机械结构、运动控制算法、软硬件系统、综合误差补偿等多(duō)项技术,实现了高速高精度XY二维运动平台。能(néng)广泛应用(yòng)于半导體(tǐ)芯片检测、AOI检测、晶圆切割、3C電(diàn)子封装等高精尖智能(néng)检测领域。