技术指标 |
数据 |
有(yǒu)效行程 |
X轴:300mm Y轴:300mm |
最大速度 |
X轴:600mm/s Y轴:600mm/s |
最大加速度 |
X轴:0.6G Y轴:0.6G |
重复定位精度 |
X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴:±2arcsec |
直線(xiàn)度 |
X轴:±4μm Y轴:±4μm |
最大负载 |
10kg |
正交度 |
±5μm |
光栅尺分(fēn)辨率 |
0.1μm |