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龙门双驱三轴精密运动平台

重复定位精度 ±1μm

软硬件控制方案全自研

提供定制化服務(wù)

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技术指标

 数据

有(yǒu)效行程

X轴:300mm    Y轴:300mm

最大速度

X轴:600mm/s    Y轴:600mm/s

最大加速度 

X轴:0.6G    Y轴:0.6G

重复定位精度

X轴:±0.5μm  Y轴:±1μm   θ轴:±2arcsec

直線(xiàn)度

X轴:±4μm   Y轴:±4μm

最大负载 

10kg 

正交度

±5μm

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm

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