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产品解决了高精度XY轴定位及运动控制系统设计关键技术问题,实现最大速度≥450 mm/s,平均加速度≥0.6G,单轴重复定位精度≤±1μm(可(kě)达±0.3μm)。能(néng)广泛应用(yòng)于装备制造、无损检测、芯片检测、AOI检测、晶圆切割、3C電(diàn)子封装等高精尖领域,為(wèi)相关产业提供强有(yǒu)力的技术支撑和定制化國(guó)产替代解决方案。本产品被评為(wèi)安徽省首台套重大技术装备。